对于镀膜过程氧化铝坩埚要怎样进行选择呢? |
[ 日期: 2019-07-01 ] |
对于做镀膜相关工作的朋友,应该非常的熟悉,镀膜过程中选择合适的蒸发舟和坩埚对整个镀膜的效果好坏来说起着至关重要的作用,因为就氧化铝坩埚来说就有很多种类。 所以说镀膜过程中怎么选择蒸发舟和氧化铝坩埚,是镀膜工作里面经常遇到的问题之一。今天我们就介绍下各种单质材料材料的特性,包含密度,熔点,蒸发温度,热蒸发蒸发舟选择,电子束蒸发坩埚选择,镀膜的注意事项。 氧化铝坩埚坩埚主要有钨坩埚,钼坩埚,钽坩埚,铜坩埚,石墨坩埚,氧化铝坩埚,导电氮化硼坩埚,石英坩埚。蒸发舟由于结构简单、使用方便,是使用最为广泛的一种蒸发源。常用材料有钨、钼、钽、铌,也可以使用石墨,导电氮化硼等导电陶瓷材料。钨钼钽都会在加热到高温时会因重结晶而变脆。 |
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